LED步进式光刻机

设备型号:DSI-D-PHS0406-A01

应用范围:LED晶圆



主要特点:

设备特点:

适用于4-6英寸基底LED硅芯片/蓝宝石芯片生产中的光刻工艺,采用超大曝光视场,大大减少曝光次数,显著提高产能;同时该设备具有高分辨率、高线宽均匀性等特点。 


主要参数:


主要参数加工尺寸4”、6“晶圆
加工速度4", 137pcs/h
6", 110pcs/h
加工精度分辨率2μm L/S
平台参数定位精度
X: ±200nm
Y: ±200nm
Z: ±350nm
Rx Ry Rz:10urad
激光器参数光源:2000W UV Lamp,波长365nm
感光区域:53*38.5mm
工作照度:>550mW/cm2(New lamp)
光源均匀度:≤3%
Tact time4”:43.1秒(第一片),循环TT 25.6秒
6”:49.1秒(第一片),循环TT 31.6秒
稼动率>95%



加工效果:



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