激光剥离机

设备型号:LL06156(DPSS)

应用范围:柔性显示屏激光剥离



主要特点:

设备特点:

1、线形光斑的激光整形技术,实现在不同尺寸加工样品上的剥离操作 

2、气浮式的工作台实现无接触无摩擦的加工形式,避免产生粉尘颗粒,保证装备内部的洁净度

3、高精度、大尺寸、双工位的stage设计,可有效提高生产效率 

4、panel载台吸附设计。激光设备的物料载台的真空吸附部分,采用了分区域加时间延迟的设计,先吸附中间部分,再逐次往外围吸附,保证带柔性膜的panel可以无皱褶高效吸附 



主要参数:


主要参数加工尺寸1"-8"
加工速度180mm/s
加工精度0.1μm
平台参数1)移动精度
X 轴: 0.1μm
Y 轴: 0.1μm
Z 轴: 1μm
Theta 轴: 0.2°
2)定位精度
X 轴: ≤±4μm
Y 轴: ≤±4μm
Z 轴: ≤±5μm
Theta 轴: 0.1°
激光器参数1)激光器波长: 308nm
2)激光能量: ≥600W
3)激光脉冲功率: 1000mJ
4)总频率: 600 Hz
5)脉冲宽度: 24±4ns
6)脉冲稳定性: ≤1%
工艺方式DPSS激光剥离
制程类型激光剥离
Tact time1":4.5s
8":6s
稼动率0.9



加工效果:


      


   



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