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设备型号：DSI-S-LA9200
应用范围：对重掺杂碳化硅（SiC）表面沉积的过渡金属进行退火，形成良好的欧姆接触
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主要特点：
设备特点：
1、整机模块化设计与集成，提供系统解决方案
2、退火面均匀性高，电学特性优秀
3、兼容4、6英寸薄片晶圆
4、激光分布均匀、能量稳定，配置监控与补偿系统
5、严格控制腔体含氧量和非退火面温度
6、高精度全自动EFEM传输模组
7、符合SEMI标准，支持SECS-GEM通信
主要参数:
加工效果：
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