全自动激光退火设备

设备型号:DSI-S-LA9200

应用范围:对重掺杂碳化硅(SiC)表面沉积的过渡金属进行退火,形成良好的欧姆接触



主要特点:

设备特点:

1、整机模块化设计与集成,提供系统解决方案

2、退火面均匀性高,电学特性优秀

3、兼容4、6英寸薄片晶圆

4、激光分布均匀、能量稳定,配置监控与补偿系统

5、严格控制腔体含氧量和非退火面温度

6、高精度全自动EFEM传输模组

7、符合SEMI标准,支持SECS-GEM通信



主要参数:


主要参数加工尺寸4inch、6inch
加工速度1000mm/s
加工精度±1μm
平台参数行程300mm×300mm
重复定位精度±0.001mm
激光器参数紫外
稼动率98%以上
重大故障间隙时间>1000H
良率≥99.5%



加工效果:


   



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