碳化硅晶圆改质切割设备

设备型号:DSI-S-TC9310

应用范围:SiC,GaN,LT,LN等晶圆改质切割设备



主要特点:

设备特点:

1、特制激光系统 

2、优异的切割效果

3、全自动生产

4、高精度视觉系统;自动对位,自动寻焦

5、高精密运动平台

6、兼容4/6inch生产

7、SECS GEM标准接口



主要参数:


主要参数加工尺寸4inch、6inch晶圆
加工速度400-1000mm/s
加工精度±1μm
平台参数行程300mm×300mm

重复定位精度±0.001mm
θ轴重复定位精度±2arcsec

激光器参数红外
稼动率98%以上
重大故障间隙时间>1000H
良率≥99.5%




加工效果:


   


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