LED激光内部改质切割设备

应用范围:蓝宝石的内部改质切割(厚度:80-200um(厚度<短边尺寸);尺寸≥ 4*5mil,



主要特点:

设备特点:

1、自动广角轮廓校正:兼容破残片切割 

2、自动扫条码功能,配合生产信息上抛功能

3、全自动上下料,无人值守全自动运行 

4、可兼容2寸、4寸及6寸片的生产 

5、DRA响应精度50HZ@±5um

6、自动调焦功能(激光焦点校正)

7、支持SECS-GEM协议 (选配功能)


主要参数:


主要参数

加工尺寸

≤200um厚度蓝宝石

加工速度

<1000mm/s

加工精度

X、Y、W轴重复定位精度±1μm

平台参数

平台行程:400*600mm

激光器参数

1064nm激光器,最大功率≤3W(100KHZ)

Tacttime

约12672~13040片/月(四英寸36Mil×36Mil,150um厚度,以22H*28D计算)

稼动率

≥95%

重大故障间隙时间

8000H

良率

划片良率IR及VF4下降≤0.5%(切割前与切割后对比差异)

其他参数

/



加工效果:


划片外观良率 ≥99.7%(去除误卡率)

欢迎来电咨询

400-930-5088

©2021 大族激光科技产业集团股份有限公司    粤ICP备05013795号 网站地图 友情链接
TOP